流量測(cè)量zui早是由瑞士人開始的，在1738年，瑞士的物理學(xué)家丹尼爾?伯努利以伯努利方程為基礎(chǔ)，利用了差壓法測(cè)量了水流量。后來，意大利物理學(xué)家文丘里又用文丘里管測(cè)量了流量，并發(fā)表了研究成果。1886年，美國(guó)人赫謝爾應(yīng)用文丘里管制成了測(cè)量水流量的的實(shí)用測(cè)量裝置。
20世紀(jì)初期到中期，原有的測(cè)量原理逐漸走向成熟，人們不再將思路局限在原有的測(cè)量方法上，而是開始了新的探索。1910年時(shí)，美國(guó)人開始了槽式流量計(jì)的研究工作，這種流量計(jì)是用來測(cè)量明溝中水流量的。1922年，帕歇爾將水槽測(cè)量改革為帕歇爾水槽。槽式流量計(jì)發(fā)展的同時(shí)，美籍匈牙利人卡門正在研究渦街理論，1911年到1912年，他提出了卡門渦街新理論。
到了30年代，又出現(xiàn)了探討用聲波測(cè)量液體和氣體的流速的方法聲波測(cè)量流量的方法，但到第二次世界大戰(zhàn)為止未獲得很大進(jìn)展，直到1955才有了應(yīng)用聲循環(huán)法的馬克森流量計(jì)的問世，用于測(cè)量航空燃料的流量。，
1945年，科林用交變磁場(chǎng)成功的測(cè)量了血液流動(dòng)的情況。
20世紀(jì)的60年代以后，測(cè)量?jī)x表開始向精密化、小型化等方向發(fā)展。例如，為了提高了差壓儀表的度，出現(xiàn)了力平衡差壓變送器和電容式差壓變送器；為了使電磁流量計(jì)的傳感小型化和改善信噪比，出現(xiàn)了用非均勻磁場(chǎng)和低頻勵(lì)磁方式的電磁流量計(jì)，此外，具有寬測(cè)量范圍和無活動(dòng)檢測(cè)部件的實(shí)用卡門渦街流量計(jì)也在70年代問世。 。
隨著集成電路技術(shù)的迅速發(fā)展，具有鎖相環(huán)路技術(shù)的超聲(波)流量計(jì)也得到了普遍應(yīng)用，微型計(jì)算機(jī)的廣泛應(yīng)用，進(jìn)一步提高了流量測(cè)量的能力，如激光多普勒流速計(jì)應(yīng)用微型計(jì)算機(jī)后，可處理較為復(fù)雜的信號(hào)。。
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